辻川 真平 | 論文著者

(株)ルネサス テクノロジ、生産本部、ウエハプロセス技術統括部

(株)ルネサステクノロジ ウェハプロセス技術統括部

(株)ルネサステクノロジ ウェハプロセス技術統括部:(現)ソニー(株)

東京大学工学部材料学科