半導体レジストにおけるラフネス発生機構とその制御--高分子集合体の観点から

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概要

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• 広信社の論文
• 2003-01-00

広信社 | 論文

• 高分子自己組織系のレオロジ- (特集 自己組織化と超分子構造)
• 界面活性高分子の分子設計
• 界面活性剤の上手な利用と除去--吸着現象を中心に
• 金属表面の分子のミクロ挙動と脱離ダイナミクス
• 白金表面上の反応場

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