韓国台湾を中心としたアジアのMEMSの動向とMEMSファウンダリ (特集 ナノテクノロジー)
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概要
次世代センサ協議会 | 論文
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- IEC TC47ロンドン会議報告 : センサとマイクロマシンの国際標準化