希土類酸化物薄膜の新規な創製法の確立とそのトライボロジー特性(第3報)スカンジウム酸化物薄膜,窒化物薄膜,酸化物/窒化物複合薄膜
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概要
日本トライボロジー学会 ; 1989- | 論文
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