実用化に至った革新的な実装技術--IGBTモジュール用超音波接合技術 (特集 パワーデバイス実装の最前線)

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概要

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論文 | ランダム

• 透過型フォトダイオードによる変位計測
• レジスト噴霧法による3次元リソグラフィの開発と光ファイバ端面加工への応用
• レジスト噴霧法による光ファイバ端面のリソグラフィ加工
• マイクロマシニングによるメカトロニクス用フォトダイオードの開発
• Siマイクロマシニングによるメカトロニクス用光センサの開発

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