MEMS用難除去高分子材料のオゾンエッチング

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概要

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論文 | ランダム

• Ar-O_2混合ガス雰囲気下でSiO_2/Al_2O_3基板上に作製されたPt/Ti薄膜の組織と抵抗温度係数の改善
• 陽電子消滅法による材料評価 (特集 放射線利用研究の最前線--放射線の新たな利用手法の開発)
• 種々の雰囲気下で熱処理した Pt/Ti/SiO_2/Al_2O_3 多層膜の組織と抵抗温度係数
• 灯油流量計
• 薄膜流量センサーの開発

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