熱酸化マスクとしての窒化シリコン膜の特性とMOS IC製法への応用 (半導体・集積回路の生産技術(特集))

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概要

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論文 | ランダム

• Mo系高速度工具鋼の衝撃特性におよぼす焼入冷却速度の影響
• 高C-高Cr系冷間工具鋼の焼入特性に及ぼすC-Crの影響
• 高速度工具鋼の焼もどし硬さに及ぼす焼入冷却速度の影響
• 熱間鍛造型用鋼の焼もどし硬さに及ぼす焼入冷却速度の影響
• ベイナイト組織を有する熱間鍛造型用鋼の機械的性質について

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