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概要
論文 | ランダム
- Ultrathin single-crystalline-silicon cantilever resonators: Fabrication technology and significant specimen size effect on Young's modulus
- Time Dependence of Energy Dissipation in Resonating Silicon Cantilevers in Ultrahigh Vacuum
- Scanning Probe with an Integrated Diamond Heater Element for Nanolithography
- 江刺正吾教授研究業績目録
- MEMS 技術で描く夢 (後編) 「MEMS の本質」を半導体技術者はどう理解すれば良いか