理研型干渉計の干渉縞の明るさおよび鮮明度向上に関する二三の実験および考察

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概要

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• 工業技術院中央計量検定所の論文

工業技術院中央計量検定所 | 論文

• 微小平面の法線方向の検出方法およびこの方法を用いたビッカースダイアモンド圧子の形状測定装置の試作
• 触針法による微小形状の測定法の研究
• 小形歯車の形状測定法に関する研究
• 三位点アラサ
• 光切断式表面アラサ測定機の研究-2-

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