透過型顕微干渉法による粗面の研究

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概要

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• 工業技術院中央計量検定所の論文

工業技術院中央計量検定所 | 論文

• 微小平面の法線方向の検出方法およびこの方法を用いたビッカースダイアモンド圧子の形状測定装置の試作
• 触針法による微小形状の測定法の研究
• 小形歯車の形状測定法に関する研究
• 三位点アラサ
• 光切断式表面アラサ測定機の研究-2-

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