薄膜IC用蒸着抵抗の自動加工装置(資料)

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概要

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• 日本自動制御協会の論文

日本自動制御協会 | 論文

• 形状記憶合金材への期待--医療・福祉機器開発に必要な制御要素 (制御要素としての形状記憶合金材への期待特集号)
• スペクトル解析のためのBurg法の改良
• 体液調節
• ディジタル式フィ-ドフォワ-ド型モデルマッチング制御系の最適設計
• 伝達関数の新しい解釈と離散化技法

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