アズノールGの使用経験

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概要

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論文 | ランダム

• 単結晶シリコンの異方性エッチング液の選択指針
• ECR多価イオン源におけるArガス中への酸素混入効果とプラズマパラメータ測定
• 大面積薄膜形成用小型シート状プラズマ源
• ECRイオン源における多価イオン生成と高エネルギー電子成分の効果
• 反応メカニズムに基づいた異方性エッチングプロセスのコンピュータシミュレーション : 凸形および凹形コーナの仕上がり形状

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