Novel air-gap formation technology using Ru barrier metal for Cu interconnects with high reliability and low capacitance
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概要
論文 | ランダム
- 生と死
- 先天異常の診断:コンピュ-タを用いた先天奇形症候群の検索システム
- 鉛フリーはんだを用いたフローはんだ付け機器の損傷抑制技術の評価試験方法に関する標準化
- 27pRA-3 レーザー励起光電子分光による超巨大磁気抵抗マンガン酸化物の電子状態の研究(27pRA Mn系2(電荷軌道秩序),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
- 20aYD-2 レーザー高調波を用いた時間分解光電子分光による光誘起相転移の研究(光誘起相転移,領域5(光物性))