Novel air-gap formation technology using Ru barrier metal for Cu interconnects with high reliability and low capacitance
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概要
論文 | ランダム
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- SPI Structural Plastics′97--最適成形方法の活用と急伸するガスアシスト射出成形
- ガス抜きの設計と効果 (特集 精密成形における金型技術の進歩)