Novel air-gap formation technology using Ru barrier metal for Cu interconnects with high reliability and low capacitance
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概要
論文 | ランダム
- 硫化物系リチウムイオン伝導ガラスの作製とキャラクタリゼーション--全固体リチウム二次電池の開発基礎研究 (特集 硫化物の物性と製造プロセス)
- Direct Confirmation of the High Coherency of the Electron Beam from a Nanotip
- Direct Growth of Vertically Aligned Single-Walled Carbon Nanotubes on Metal Tip by Applying Electric Field
- Coherent Electron Emission from Carbon Nanotubes and Nb Superconductors (Waseda International Symposium on Fundamental Physics--New Perspectives in Quantum Physics) -- (Chapter 1. Fundamental Quantum Theory)
- A-17-1540 ハイドロキシアパタイト移植術後の歯槽骨再生機構に関する超微形態学的研究 : アパタイト周囲に出現する多核細胞について