ENHANCE試験から得られた知見とは

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概要

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論文 | ランダム

• 超精密切削加工の研究--平面加工における加工条件と加工精度
• 触針法,光干渉法,SPMによる表面粗さ測定の比較検討
• 超精密3次元測定機によるサブマイクロメ-トル寸法測定
• 測定デ-タ収集のシステム化
• 鏡面加工用砥石の研削性能

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