プラズマ経由気相プロセス 物理気相成長法による超ナノ微結晶ダイヤモンド/水素化アモルファスカーボン混相膜の創製とその化学結合構造 (ミニ特集 ナノ構造の形成プロセスと特異な性質)
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概要
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