Development NEWS 材料のポテンシャルを最大限に引き出す吸着剤・触媒・イオン交換体の作製技術を開発
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概要
論文 | ランダム
- 30p-D-8 ECRプラズマを用いた極薄窒化シリコン膜形成プロセスにおける荷電粒子の影響
- 30p-D-5 ダイヤモンド合成プラズマプロセス中のカーボン原子の振る舞い
- 30p-D-3 環境調和型プロセスを用いたPTFE状低誘電率a-C:F膜(ε=2.0)の形成
- 28a-D-8 IRLASおよびLIFを用いたECRプラズマ中でのCFx(x=1〜3)ラジカル絶対密度径方向分布計測
- 30a-P6-5 光ファイバを用いた波長可変フェムト秒ソリトンパルスの生成及び特性評価