光CD計測(Scatterometry) (特集 偏光計測)
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概要
日本オプトメカトロニクス協会 | 論文
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- カーボンナノチューブの光誘起電流分光とフォトルミネッセンス分光--光学的手法によるナノチューブFETの動作解析 (特集:カーボンナノチューブの光特性とフォトニクスへの応用)
- ミリ波フォトニクスの展開 (特集 光ファイバ通信技術の展開)
- 光通信デバイスのためのMEMS (特集 光ネットワーク時代の光技術)
- リアルタイムレーザ3Dイメージャ (特集 ファンクショナル・イメージングデバイス)