SiC単結晶ウェハの開発とその応用 (テリアルフォーカス:エレナノ 電流を整える、電流のムダを無くすなど省エネに寄与する半導体--2010年代前半に爆発的普及が予測されるSic系パワー半導体(2)デバイス・モジュール編)
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概要
技術情報協会 | 論文
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