多波長対応光ピックアップのスポットと波面同時検査装置の開発

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概要

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• 日本光学測定機工業会の論文

日本光学測定機工業会 | 論文

• 原子間力顕微鏡による2次元回折格子の精密ピッチ計測
• 表面形状精密測定のための2波長ワンショット干渉法
• 非接触画像相関二次元エンコーダ
• 簡易型OCTシステムによる接木活着過程の計測
• フレネル回折ボケ像の修正とその軟X線顕微鏡への応用

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