エッチング洗浄技術「ベベルエッチングチャンバ(BEC)」 (全冊特集 45nm/32nm世代の半導体製造・試験装置) -- (半導体製造装置・周辺機器)

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概要

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論文 | ランダム

• 6a-T-5 ビーム・ホイル相互作用 : 固体内原子励起
• 2p-E-1 γP→π^+n反応の偏極ターゲットによるAsymmetryの測定(I)
• ディチャネリングによる固体の研究
• 6a-P-9 円形刃状転位ループによる高速イオンのデチャネリング
• 5p-D-7 歪を持つ結晶格子によるデチャネリング

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