NF3ガスプラズマによるSiCのエッチング--反応容器の形状、結晶性、NF3圧力を因子として (第46回同志社大学理工学研究所研究発表会,2008年度学内研究センター合同シンポジウム 講演予稿集)
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概要
同志社大学理工学研究所 | 論文
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