MEMS技術がマイクを変えた シリコン(MEMS)マイクについて--MEMSマイクは携帯電話で広く採用されシェア急拡大 従来のコンデンサマイクと比較してのメリットと技術動向 (エレナノ 2か月連続特集 10億台「買い替え」市場への可能性 携帯電話の「小型・軽量化と多機能化」に貢献するMEMSのこれから(2)各種MEMSデバイス,応用編)

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