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概要

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• 2009-01-28

論文 | ランダム

• 三フッ化アセチルフロライドを用いたシリコン系材料のエッチング
• 窒化酸化における窒素の導入過程と膜構造へ与える効果の検討
• フッ素及び励起窒素処理による酸化膜表面窒化プロセス(2)
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