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概要

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論文 | ランダム

• 電子ビームドーピングにおける表面拡散 (II) Si基板中のGa
• 電子ビ-ム照射によるシリコン表面におけるゲルマニウム原子の拡散
• 高エネルギー電子ビームによる相互拡散
• 電子ビームドーピングにおける表面拡散
• 電子ビーム照射による不純物ドーピング

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