ヒートモードリソグラフィーによるZnS-SiO2微細パターン形成技術

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概要

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• リコー研究開発本部の論文

リコー研究開発本部 | 論文

• 走査型透過X線顕微鏡の有機複合材料観察への応用
• 近接場光記録用平面型プローブアレイのプローブ先端先鋭化技術
• 微小開口つきスライダを用いた近接場光による高密度相変化記録
• 空気安定化したフレキシブルディスクへの高密度光記録
• フラックス法による高品質窒化ガリウムの結晶成長

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