MEMS用高アスペクトレジスト「SU-8」フィルムタイプ (特集 マイクロマシン/MEMSの量産を支える設計・製造技術) -- (製造技術編)

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概要

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論文 | ランダム

• 放電図形と印加電圧の極性
• 衝撃電圧による沿面放電の性状-3-
• 衝撃電圧による沿面放電の性状-2-
• 衝撃電圧による沿面放電の性状-1-
• 摩擦条痕上の放電図形-2-

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