アーキングに対するスパッタターゲット中の微小酸化物の影響(酸化物依存性とアーキングのモデル化)

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概要

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東ソー | 論文

• 高温高浸透圧クロマトグラフィーによるポリエチレンの分別に関する検討
• 技術資料 高純度薬品容器用ポリエチレンの開発
• 低温排熱有効利用を目指した多孔質材料の研究
• Cs修飾ゼオライトHC吸着機能改善
• 技術資料 A Novel Ruthenium Precursor for MOCVD without Seed Ruthenium Layer

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