高分解能インプレーン回折法によるSGOI基板の高精度格子歪み測定

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概要

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• リガクの論文

リガク | 論文

• 反応性固相エピタキシャル成長法
• 無添加酸化亜鉛薄膜の製膜初期過程の研究
• 微量金属定量用のプラスチック標準試料の作製法
• すれすれ入射X線小角散乱"GI-SAXS"によるナノ構造の評価
• RINT-Ultima3,RINT-TTR3用薄膜試料用高温装置DHS900用いたCu薄膜の測定

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