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論文 | ランダム
アモルファス炭素膜のプラズマ気相化学堆積過程の観察
原料によるアモルファス炭素膜の堆積過程のちがい
アセチレンプラズマを用いたアモルファス炭素膜の堆積過程の基板バイアス依存性
アモルファス炭素膜の成膜機構
プラズマ成膜プロセスにおけるサブサーフェスでの反応過程解析
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