Investigation of 915 MHz ECR Plasma Parameters with SiH4/H2 Mixtures

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概要

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• 九州大学大学院総合理工学府の論文

九州大学大学院総合理工学府 | 論文

• DNLS方程式を用いた平行伝播アルフヴェン波動乱流の非線形発展
• Laser Thomson Scattering and Optical Emission Studies of PDP Micro-Discharge Plasmas
• Investigation of 915 MHz ECR Plasma Parameters with SiH4/H2 Mixtures
• 日本沿岸域におけるM2潮汐振幅の季節変動および経年変動
• Silicon Dioxide Film Deposition by Afterglow-Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition using Triethoxysilane and Tetraethoxysilane

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