シリコン基板上の銅薄膜の応力と組織に及ぼす中間絶縁層材質の影響

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概要

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• 日本伸銅協会の論文

日本伸銅協会 | 論文

• 炭酸系人工地下水溶液中での銅の孔食に及ぼす表面皮膜の影響
• 電気化学的計測とその後の表面観察に基づく銅管の耐孔食性評価
• 銅の孔食に及ぼすカーボン蒸着後熱処理の影響の電気化学的評価
• Cu-Sn-O系合金溶湯の比抵抗による成分連続測定技術の開発
• SCR連続鋳造における熱移動解析

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