デュアルアンバランスドマグネトロンスパッタリング成膜装置の開発および超硬質皮膜の作製と評価

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概要

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• プラズマ応用科学会の論文

プラズマ応用科学会 | 論文

• 可視化イオンビーム実験との比較によるイオンビーム軌道計算コードの検証
• マイクロ波放電式プラズマ源を用いたイオンビーム引出および中和電子放出の相互切替運転の原理実証
• ベアテザー衛星の電子捕集に関する基礎研究
• ブルームライン型パルス電源の特性と汚水浄化への応用
• プラズマ溶射によるジルコニア皮膜のスプラット内に発生したき裂の観察および解析

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