資料 「国公権利裁判」準備書面(4)

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概要

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論文 | ランダム

• Si、GeのIBS成長におけるスパッタガスの検討(III族窒化物研究の最前線)
• 3p-AG-6 Pt isotopes の (p,t) 反応
• イオンビームスパッタ法によりSiGe成長における水素導入効果
• 反応性スパッタ法を用いたゲート絶縁膜用ZrO_2系薄膜の金属モード成長
• 反応性スパッタ法を用いたゲート絶縁膜用ZrO_2系薄膜の金属モード成長

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