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2003年度IFLAベルリン大会(2003年8月1日〜9日)報告 (IFLAベルリン大会レポート)
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ハイパワーパルススパッタ(HPPS)マグネトロン放電の電気的特性および発光スペクトル
対向電極型大電力パルススパッタ(HPPS)グロー放電と195kHz-RF放電によるハイブリッド放電の電気的特性
シャンティングアークによる成膜プロセス
シャンティングアーク放電プラズマの構造解析
グリッド制御を用いたプラズマイオンプロセス
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