外乱オブザーバを用いたワイヤボンダ用リニアモータの位置決め制御 (2000モーション・エンジニアリングシンポジウム) -- (モーションコントロール入門(1)ロバスト制御とリニアモータ)
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概要
日本能率協会 | 論文
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