SiC結晶成長法の新規開発:HTCVD技術 (特集 ハードエレクトロニクス--超低損失パワーデバイス技術) -- (結晶成長)

スポンサーリンク

概要

新機能素子研究開発協会 | 論文

もっと見る

スポンサーリンク