半導体製造に重用されるCVD炭化ケイ素製ダミ-ウエハ (特集 炭化ケイ素の動向)

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概要

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ティ-・アイ・シィ- | 論文

• フロンティアセラミックスプロジェクトの概要 (特集 フロンティアセラミックス)
• インタ-カレ-ションと電気化学 (特集 インタ-カレ-ション)
• ドクタ-ブレ-ド法 (特集 製造プロセス技術の新展開(2))
• 窒化ケイ素材料開発の展望 (特集 窒化ケイ素の動向)
• コストから見たセラミック複合材の開発と設計 (特集 セラミックスの複合プロセス)

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