化合物半導体の有機金属気相成長技術--日本酸素における取り組み

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概要

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日本酸素 | 論文

• 技術報告 半導体プロセスガス中の粒子制御技術評価のための溶接ヒュームを用いた超微粒子含有ドライガス発生法
• 技術紹介 高純度ガス中の微量金属不純物分析の信頼性評価
• 技術報告 クリプトンガスを用いたマイクロ波励起高密度プラズマプロセス
• 酸素燃焼による金属溶融技術の開発(NSR Process)
• 技術報告 量子化学法によるトリクロロシランと吸着水の気相反応機構

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