透明導電膜形成用スパッタリングタ-ゲットの開発-2-ITOタ-ゲットのスパッタリング機構の解析

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概要

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• 東ソー南陽研究所の論文

東ソー南陽研究所 | 論文

• ポリ塩化ビニルの熱劣化評価方法に関する検討
• 酸素PSA用ゼオライトの気体吸着特性と構造
• FP-蛍光X線分析法の無機定量分析への活用
• β-アルミナ構造を利用したNO選択還元反応
• 燃焼/イオンクロマトグラフ法によるポリマ-中の微量ハロゲン及び硫黄の定量

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