化合物半導体のリアクティブイオンエッチング(RIE)--Cl2-H2ガスによるGaAs,AlGaAsの等速RIE

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概要

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• 三菱電線工業特許管理部技術調査グル-プの論文

三菱電線工業特許管理部技術調査グル-プ | 論文

• 偏波面保存光ファイバアレイの開発
• 高効率半導体レ-ザ-励起Nd:YVO4マイクロチップ固体レ-ザ-の研究
• 残留電荷法による22kV CVケーブルの劣化診断
• 1.53μm帯励起高効率Lバンド増幅装置の開発
• WDM対応低雑音光AGC EDFAの開発

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