大面積高精度露光装置における自動アライメント技術

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概要

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日本精工 | 論文

• 外乱オブザ-バと予見フィ-ドフォワ-ドを用いたワイヤボンダ用テ-ブルの位置決め制御 (精機製品特集)
• ダイレクトドライブモ-タのオ-トチュ-ニング
• ダイレクトドライブモ-タの制御
• 鉄鋼圧延機用ウォータータフ(WTF)軸受の開発--過酷環境下長寿命化ニーズへの対応 (環境特集) -- (省資源)
• 玉軸受・ころ軸受におけるNSK新寿命計算式の開発

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