久能徹・末武康弘・保坂亨・諸富祥彦著『ロジャーズを読む』[書評]

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概要

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論文 | ランダム

• 2種類の広帯域波長光源を組み込んだ垂直走査型干渉計を用いる高精度形状計測
• 連続取込みスペックル干渉画像における初期位相測定法
• 二波長スペックル干渉法による固体材料の変形測定
• 垂直走査型白色干渉法における走査速度の高速化
• LDの狭域波長走査を用いた粗面の形状計測

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