半導体製造工程における静電気問題 (先端技術と帯電<特集>)

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概要

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静電気学会 | 論文

• 静電気リスクアセスメントのあり方
• ミニチュアマルクス発生装置の開発とマイクロプラズマジェットへの応用
• 大気中で球形の帯電粒子が保持できる最大電気量の推算
• 電界振動凝集によるサブミクロン粒子の捕集
• 微粒子が大気中で保持できる最大表面電荷密度の実験的検討

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