ポリシリコン薄膜における膜厚方向応力分布の解析と制御 (特集 マイクロセンサ用薄膜の機械的物性評価と解析)

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概要

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豊田中央研究所 | 論文

• 水性塗料用コア・シェル粒子の膨潤メカニズム
• ミリ秒での酸素吸蔵放出能の新評価法
• ミリ秒領域の触媒表面過渡反応評価方法を創る (特集:排気浄化用触媒)
• 一層の誘電体基板に構成されるミリ波帯マイクロストリップ線路-導波管変換器
• 自動車レーダ用高効率ミリ波マイクロストリップアレーアンテナ

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