mV・温度/空気圧変換器--PTED形

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概要

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• 横河電機の論文

横河電機 | 論文

• マイクロ天秤を用いたEOプロ-バ
• 単結晶シリコンマイクロボロメータの設計と試作
• 微小アンテナ型マイクロ赤外分光デバイス
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