横河電機の最近の技術開発について (〔横河電機製作所〕総合技術リポ-ト′81)

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概要

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横河電機 | 論文

• マイクロ天秤を用いたEOプロ-バ
• 単結晶シリコンマイクロボロメータの設計と試作
• 微小アンテナ型マイクロ赤外分光デバイス
• フラットパネルディスプレイの画質検査アルゴリズム (半導体ソリューション特集)
• 食品工場向け製造実施管理システム CIMVisionLIBRA (インダストリーソリューション特集)

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