3次元有限要素法を用いたマグネトロンスパッタリング用磁気回路の開発

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概要

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• 三菱製鋼の論文

三菱製鋼 | 論文

• 窒化ギヤ用材料(SCr425VS)
• 浸炭および窒化処理材の2,3の用途開発について
• Design of Electromagnet to Apply the Transverse Magnetic Field to Growth of Silicon Single Crystals
• 有限要素法によるヒステリシス磁気カプラの特性解析
• レ-ザ-加工法によるMRセンサの開発

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