IC/LSIのプラズマ洗浄ダメージ評価解析

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概要

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論文 | ランダム

• 完全な局所計算に基づく弾性体位相最適化手法の提案(OS14f 計算力学と最適化)
• 混合チャンバーの空気力学的特性の研究
• 10009 弾性体と流体の連成振動解析 : その4 共振時における実験モード解析(流力弾性(2),海洋)
• 10015 海洋トラスモデルの損傷同定解析(最適化・同定,海洋)
• 10012 3次元移流卓越流れ問題の高次補間近似スキーム(流力弾性(2),海洋)

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