水素ガス反応性スパッタ法a-C:H薄膜の半導体化 (射出成形・ダイヤモンドおよびcBN薄膜・希土類・セラミックス複合材料<特集>) -- (ダイヤモンドおよびcBN薄膜の低圧合成)
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概要
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