ドライエッチング技術 (ULSIを支える材料とプロセス技術<特集>)

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概要

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• 日本金属学会の論文

日本金属学会 | 論文

• 正20面体クラスター由来の新しい相転移
• プロジェクト報告 統計にみる金属間化合物材料研究の変遷と今後の新展開
• γ-TiAl合金の高温酸化に及ぼす試料表面粗さの影響
• 放電プラズマ法によって作製したPbTe焼結体の熱電特性に及ぼす結晶粒径の影響
• ニッケル-炭素繊維系の高温における微細構造について

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